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檢測(cè)儀知識(shí)百科

電子級(jí)六氟化硫
發(fā)布時(shí)間:2021-03-28 17:03瀏覽次數(shù):

電子級(jí)六氟化硫

分子式:SF6

分子量:146.05

項(xiàng) 目

國(guó) 標(biāo)

GB/T18867-2014

六氟化硫(SF6)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-2 ≥

99.999

(氧+氬)(O2+Ar)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤

2.0

氮(N2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤

2.0

四氟化碳(CF4)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤

1.0

一氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤

0.5

二氧化碳(CO2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤

0.5

甲烷(CH4) 含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤

0.5

六氟化硫_氟化亞錫氟化鈉_氰化鈉要用雙氧水或硫代硫

水分(H2O)的(體積分?jǐn)?shù))/10-6 ≤

3.0

酸度(以HF計(jì))的質(zhì)量分?jǐn)?shù)/10-6 ≤

0.1

可水解氟化物(以HF計(jì))的質(zhì)量分?jǐn)?shù)/10-6 ≤

0.8

雜質(zhì)綜合的體積分?jǐn)?shù)/10-6 ≤

10

顆粒

由供需雙方商定

性狀:

常溫常壓下為液態(tài)氫氣檢測(cè)儀,它是一種無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)毒、無(wú)腐蝕性的氣體。熔點(diǎn)-50℃,升華點(diǎn)或沸點(diǎn)為-63.8℃六氟化硫,氣體密度6.16g/L(20℃,0.1MPa),在熔點(diǎn)時(shí)密度為2.51g/cm3六氟化硫,具有高的絕緣性和滅弧能力。

用途:

六氟化硫﹙SF6﹚是一優(yōu)良的惰性絕緣氣體六氟化硫,電子工業(yè)用六氟化硫氣體大量用于在電子器件表面清洗、在TFT行業(yè)中應(yīng)用量大。

貯存:

應(yīng)存放于陰涼干燥、通風(fēng)良好的地方。

運(yùn)輸:

長(zhǎng)途運(yùn)輸時(shí)應(yīng)附有GB19-73《危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志》中指定標(biāo)志。氣瓶充裝系數(shù)不大于1.33kg/L。

包裝:

SF6應(yīng)充裝在潔凈、干燥的無(wú)縫高壓氣瓶中,氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等,也可以根據(jù)用戶(hù)需要選用各種容積的氣瓶或其他容器。(一般情況下,使用氣瓶公稱(chēng)壓力為15Mpa時(shí)煤氣檢測(cè)儀,充裝系數(shù)<1.37ka/L。﹚

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標(biāo)簽: 六氟化硫
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